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白光干涉測厚儀
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LTS系列白光干涉測厚儀基于白光干涉原理,專為薄膜、涂層厚度測量設計,具備納米級精度、超快采樣速度及寬范圍適應性,適用于半導體、新能源、光學薄膜等高duan制造領域。國產納米級白光干涉測厚儀
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