國產納米級白光干涉測厚儀

產品簡介
LTS系列白光干涉測厚儀基于白光干涉原理，專為薄膜、涂層厚度測量設計，具備納米級精度、超快采樣速度及寬范圍適應性，適用于半導體、新能源、光學薄膜等高duan制造領域。國產納米級白光干涉測厚儀

產品型號：LTS系列

更新時間：2025-05-27

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白光干涉測厚儀

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白光干涉測厚儀是一種基于光學干涉原理的高精度測量儀器

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LTS系列干涉測厚傳感器全面產品介紹

國產納米級白光干涉測厚儀

一、產品概述

　　LTS系列白光干涉測厚儀基于白光干涉原理，專為薄膜、涂層厚度測量設計，具備納米級精度、超快采樣速度及寬范圍適應性，適用于半導體、新能源、光學薄膜等高duan制造領域。

二、白光干涉測厚儀的核心優勢(產品亮點)

　　超高精度

　　重復精度達 1nm，線性誤差 ±20nm，實現納米級厚度測量。

　　非接觸式測量，避免接觸損傷樣品表面。

　　超快速度與寬范圍

　　最高 10kHz 采樣頻率，滿足高速動態測量需求。

　　超大測厚范圍：常規型號厚度測量范圍 1μm~2500μm(折射率 1.5 時)，適配不同薄膜厚度場景。

　　環境適應性強

　　抗干擾能力強，不受電磁干擾影響。

　　寬范圍工作距離，部分型號建議安裝距離 5-10mm，兼容復雜工況。

　　零發熱探頭設計：探頭內部無電子元件，避免發熱導致的夾具變形和光軸偏移，確保長期穩定測量。

　　光源技術升級

　　超高亮度彩色激光光源：通過藍光激發熒光體生成多色光，較傳統白色 LED 光源，發光波段更廣、亮度更穩定，提升干涉信號解析精度。國產納米級白光干涉測厚儀

三、測量原理

　　利用白光干涉現象：

　　光源發射：白色點光譜經干涉探頭照射到樣品表面，薄膜上下表面反射光(反射光 1、反射光 2)產生相位差，形成彩色干涉條紋。

　　信號解析：通過解析干涉條紋的相位差與光程差關系，計算薄膜厚度(厚度與相位差直接相關)。

　　非接觸測量：無需接觸樣品，通過光譜信號處理實時獲取厚度值。

四、白光干涉測厚儀的技術參數與型號配置

型號	LTS-100	LTS-100W	LTS-50	LTS-50W
適配探頭	LTP-T50（聚焦光點，Φ100μm）	LTP-T10-UV-VIS（彌散光斑，10mm 距離時 Φ4mm）	LTP-T50	LTP-T10-UV-VIS
參考距離	50mm	非聚焦探頭	50mm	非聚焦探頭
測量范圍	±2mm（厚度：2μm~100μm，折射率 1.5 時）	建議安裝距離 5-10mm（厚度：1μm~50μm，折射率 1.5 時）	±2mm	建議安裝距離 5-10mm
精度指標	重復精度 1nm，線性誤差 ±20nm	重復精度 1nm，線性誤差 ±20nm	重復精度 1nm，線性誤差 ±20nm	重復精度 1nm，線性誤差 ±20nm
測量角度	±3°	±10°	±3°	±10°
采樣頻率	最高 10kHz	最高 10kHz	最高 10kHz	最高 10kHz
探頭規格	Φ30×58mm，90g，IP40 防護	Φ6.35×65mm，輕量化設計	Φ30×58mm，90g，IP40 防護	Φ6.35×65mm，輕量化設計
接口	Ethernet（100BASE-TX）、USB2.0、RS-485（Modbus 協議）	同左	同左	同左
電源	24VDC±10%，電流 0.4A	同左	同左	同左
工作環境	溫度 0~50℃，濕度 20~85% RH（無冷凝）	同左	同左	同左

五、典型應用場景

　　電子行業：觸摸屏 ITO 膜厚測量、UTG 超薄柔性玻璃厚度檢測。

　　新能源：鋰電隔膜厚度在線監測、光伏薄膜均勻性檢測。

　　材料科學：PET 多層膜材厚度分層測量、光學涂層厚度控制。

　　精密制造：半導體晶圓薄膜沉積厚度監控、微納結構表面形貌分析。

六、配套支持

　　軟件與開發：

　　上位機軟件 TSConfocalStudio，支持實時數據顯示與分析。

　　提供 C++/C# 二次開發包，便于集成至自動化產線。

　　硬件適配：

　　支持編碼器觸發與脈沖 / 電平觸發輸入，兼容多種工業控制信號。

　　模擬信號輸出(±10V 電壓 / 4~20mA 電流)與數字信號輸出(警報、比較器)，滿足不同設備接口需求。

七、白光干涉測厚儀的設計亮點

　　緊湊輕量化：最小探頭直徑僅 6.35mm，適合狹小空間安裝。

　　光纖設計：光纖接頭預留距離 100mm，靜態 / 動態彎曲半徑分別為 30mm/60mm，

提升布線靈活性。

　　長期穩定性：無發熱探頭結構，避免溫度漂移影響，確保高精度持續測量。

總結

　　LTS系列干涉測厚傳感器以納米級精度、超快響應和高可靠性，成為薄膜厚度測量的理想選擇，廣泛應用于高duan制造的質量控制與工藝優化，助力客戶實現精密測量與生產效率提升。

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